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半导体工业用石墨加工资料的优点
发布时间:2022-08-09

石墨的加工是碳的一种同素异形体,为灰黑色、不透明固体,化学性质安稳,耐腐蚀,同酸、碱等药剂不易发生反应。在氧气中燃烧生成二氧化碳,可被强氧化剂如浓硝酸、高锰酸钾等氧化。半导体与光伏工业用石墨加工资料的优点。

1、密度:石墨加工单晶的理论密度是2.26g/cm3,一般人造石墨加工的密度都在1.5-1.9g/cm3之间,固体的热解碳的密度可达2.1g/cm3,纯石墨加工的密度值是其质量除以体积﹙含一切的气孔﹚所得的商。


2、机械强度:人造石墨加工不同于其它大部分的资料,它的抗张、抗折和抗压强度会跟着温度的升高而增大,当到达2200K之后,其强度会下降。在2200K时,石墨加工的强度值较室温时高一倍,一般用于半导体、光伏工业的石墨加工资料的抗压强度到达90-150Mpa;抗折强度为40-65Mpa。

3、导电性:同其他金属不同,石墨加工的电阻温度系数是负数。石墨加工的导电性好。挨近*零,只具有少数自由电子,自身可充任绝缘体,跟着温度的上升,其导电性会添加。石墨加工的导电性较许多金属要高,且跟着温度的添加其数值下降。石墨加工的导热性跟着其石墨加工化程度的不同而有所不同。

4、热膨胀性:石墨加工的热膨胀系数以3×10-6K-1级摆放,即只相当于铁的1/4。不同牌号的石墨加工其热膨胀系数值会有所改变,也同石墨加工资料的各向异性及温度有关。

5、比热:石墨加工的比热在500K-1500K温度范围内改变较大,它跟着温度的增高,也有较大的增高。而不同牌号的石墨加工,其比热改变很小。

6、耐温性:石墨加工不会熔化,但在3900K温度时能耐温至750K。石墨加工有非常好的抗热冲击功能,因而急速地加热或冷却,石墨加工都不会有问题。

7、可加工性:石墨加工容易加工,其边际强度和耐磨性好。结构复杂、公役严格的部件都可以通过精加工获得。石墨加工具有很好的耐浸润性,它不会被熔化的玻璃或大部分金属浸润。